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毛細(xì)聚焦X熒光光譜儀、連接器測(cè)厚儀 此系列產(chǎn)品可測(cè)量金屬準(zhǔn)直無法測(cè)量的微區(qū)，多導(dǎo)毛細(xì)聚焦管光學(xué)元件的光束尺寸可小至5μm，因此可以測(cè)量微電子設(shè)備、高級(jí)電路板、連接器、引腳框架和晶片的超微小區(qū)域。 可以測(cè)量納米級(jí)的鍍層，毛細(xì)聚焦管能將更多的X射線輸出聚焦到樣品上，可以敏感的反應(yīng)鍍層納米級(jí)厚度變化。其焦斑小區(qū)域上的X射線強(qiáng)度比金屬準(zhǔn)直系統(tǒng)高出幾個(gè)數(shù)量級(jí)。 可以實(shí)現(xiàn)更高的測(cè)試精度。