光刻機是是制造芯片的核心裝備，泰睿思是國內專注長期專注于集成電路封裝與測試業務的半導體公司。業界通常把集成電路/芯片的制造稱為前道工藝，封裝稱為后道工藝，所以制造芯片用光刻機也被稱為前道光刻機，封裝用光刻機則被稱為后道光刻機。
光刻機采用氮氣校準方法則是緩慢向晶圓表面通入氮氣，運用伯努利方程，分析測量點與氮氣入口壓差分析表面形貌。
“光刻機里有一個激光腔，激光腔體內要通入稀有的混合氣體，利用稀有氣體電離激發出一種特定波長和能量的激光。"“光刻機再使用激光，去除芯片表面的光刻膠涂層，在芯片表面形成線寬為納米級的特定的電路圖案。"
光刻混合氣是非常復雜且高精度的產品，一般一種光刻氣中會含有4—5種組分氣體。傅鑄紅解釋，在光刻機制造過程中，需要用激光來加工芯片表面，讓激光波長和能量長時間保持穩定，如果氣體純度不夠或配比不精準，就會導致激光能量時高時低或不持續，“這必然影響光刻效果。
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